设置seo信息

媒體關注

純度99.999999999%電子級多晶矽量產

2018-06-07   來源:科技日報
  純度要求達到99.999999999%的電子級多晶矽終於量產。記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉,經過一系列嚴格驗證、檢測,近日一批積體電路用高純度矽料出口韓國,同時也向國內部分晶圓加工廠批量供貨。這標誌著我國半導體積體電路用矽料已經達到國際一流品質標準,也是我國多晶矽製造企業首次向國際市場出口積體電路用高純度矽料。
  電子級多晶矽材料是積體電路的關鍵基礎材料,過去中國市場上的積體電路用多晶矽材料基本完全依賴進口。電子級多晶矽是純度最高的多晶矽材料。相對於太陽能級多晶矽99.9999%純度,電子級多晶矽的純度要求達到99.999999999%。5000噸的電子級多晶矽中總的雜質含量相當於一枚1元硬幣的重量。
   2015年12月,鑫華半導體由國家積體電路產業投資基金聯手保利協鑫共同投資,建設國內首條5000噸半導體積體電路專用電子級多晶矽生產線。去年11月8日,協鑫旗下鑫華半導體正式發佈電子級多晶矽產品。
   目前,該電子級多晶矽已通過客戶驗證並形成規模化銷售,打破長期以來國外高純度材料壟斷,填補該產業國內技術空白。鑫華半導體公司第一條生產線的產能為5000噸,可保證國內企業3至5年內電子級多晶矽不會缺貨,產品品質滿足40nm及以下極大規模積體電路用12英寸單晶製造需求。同時,還將規劃再上一條5000噸生產線,以更好地滿足國際國內市場。